《真空科學與技術學報》（月刊）創刊于1981年，由中國真空學會主辦。本刊是全國中文核心期刊，長期被EI、CA、SA等國際蓍名檢索系統收錄，已全文上網。本刊通過中國圖書貿易總公司代理向國外發行。目前在美國、英國、德國、荷蘭及我國的香港與臺灣地區均有訂閱，有一定的影響力。在國內各高等院校科學院所涉及到真空科學與技術論文都大多數向本刊投稿，已成為國內外關學者發表高水平科研成果的主要載體。
《真空科學與技術學報》主要刊登真空技術、表面與界面物理與化學、表面分析、電子材料、薄膜物理與工藝、真空冶金、等離子體科學與工藝等。主要欄目有：學術論文、綜述評論、技術交流、工業技術、科研動態與學術活動、快報等。
1、《真空科學與技術學報》文稿要求：內容新穎、論點明確、力求文字精煉、準確、通順，文題簡明扼要，文稿應資料可靠、數據準確、書寫規范，文責自負。
2、《真空科學與技術學報》文章結構：題目、作者、作者單位、摘要、關鍵詞、文章正文、參考文獻、作者簡介、作者詳細通訊地址、電話、郵箱。
3、《真空科學與技術學報》論文涉及的課題如取得國家或部、省級以上專項基金或屬攻關項目，應注于文章正文下方。
4.文稿務必立論明確,論證嚴謹,數據可靠,文字精練。特約稿、綜述論文一般8000字以內,學術論文6000字以內,技術交流4000字以內,科技簡訊2000字以內,來稿請填好中圖分類號。
5.文稿要求用A4紙單面1.5倍行間距,小四號字打印,一式兩份。來稿時,請附上作者中聯系人、聯系電話和電子信箱地址。如可能,請附寄磁盤。
6.稿件請按本刊格式整理,除正文以外,要同時給出中、英文的篇名、作者姓名和工作單位、論文摘要300字左右、關鍵詞4～6個。
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